化学物理活化法就是含碳原料通过化学药品浸渍后，经过一定温度的加热处理，然后再在高温下与活化剂接触进行气体活化，其工艺过程是将化学药品活化法和气体活化法相结合制造活性炭的一种两步活化方法，一般先进行化学药品活化法，再进行物理活化法。·
化学物理活化法工艺较为复杂，生产成本较高，一般适合高指标特种活性炭的制造.
上述三种活化方法工艺各有特点，对原料的要求及生产出的活性炭的性能及其应用也各有不同。
化学药品活化法一般都是在酸性条件下进行，对生产设备存在腐蚀，同时由于生产过程中产生的废水和废气如果处理不当对环境污染较大，因此化学药品活化法的装置材质几乎都要求耐腐蚀，制造装置的价格昂贵，制造过程比较复杂，难以大量生产，生产性及装置工程学问题较多，生产过程也难以严格控制。
前已述及，化学药品活化法通常对含碳原料中的氧含量及氢含量有严格要求，而对一般煤基活性炭生产原料，如无烟煤和烟煤，由于其成煤过程的变质作用，与植物相比结构致密、煤中的氧含量及氢含量较低，因此无烟煤、烟煤和褐煤不适合用化学药品活化法生产活性炭。
化学物理活化法其工艺过程是将化学药品活化法和气体活化法相结合的两段活化法，对原料的要求首先必须满足化学药品活化法的要求，因此对无烟煤和烟煤同样不太适用。
气体活化法是在高温下进行，生产过程中产生的废气是以二氧化碳和水蒸气的形式排放，同时生产过程中基本没有废水产生，因此对环境的污染很小。气体活化法生产的活性炭孔径范围比较大，产品的应用范围比较广。由于需要首先对原料进行炭化处理，因此气体活化法基本适合于所有含碳材料制造活性炭的生产过程，尤其是对以无烟煤和烟煤为原料的活性炭生产，气体活化法不仅非常适用，而且产品得率高。以无烟煤和烟煤为原料采用气体活化法生产活性炭，一般活性炭产品得率(相对原料)高达30% -50%。目前国内外以无烟煤、烟煤和褐煤为原料生产活性炭的厂商一般都采用气体活化法。
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