活性炭在电子超纯水中的制备

随着时代的进步，电子行业也在高速发展。而电子行业所研制的产品属于精密设备，所以在生产过程中对水质的要求极高，如果水质不符合生产标准，将直接影响产品质量，所以电子行业超纯水的制取非常重要。

01、水质标准

目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业等级，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。集成电路的集成度越高，线宽越窄，对水质的要求也越高。

02、电子超纯水

超纯水，既将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度，电阻率大于10MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm极限值的水。

目前，超纯水设备的方法通常采用反渗透，去离子或电去离子(EDI)等工艺。而这三种工艺中，都需要用到活性炭过滤器。

03、活性炭

活性炭吸附能力强，能够吸附气体成分，如水中的余氯，吸附细菌和某些过滤金属等，而含有氯气的水质会损害反渗透膜，因此活性炭还能对反渗透装置和EDI模块起到保护作用。

活性炭的吸附过程是利用物理吸附将杂质吸入内部的微孔中，使活性炭吸附饱和，同时在活性炭表面含有的官能团，与被吸附的物质发生化学反应，**终使被过滤物质完成净化，从而完成电子超纯水制备的一个重要过程。

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